TFT-LCD、AMOLED等玻璃材质蚀刻过程中表面质量改善及废弃液回收利用

地区：安徽省合肥市

关键词：安徽省科技厅（企业）

需求类型：关键技术研发

需求领域：新材料

需求编号：D2021061600001055

解决方案：暂无

审核状态：通过审核

需求描述：

该公司采用氢氟酸对TFT-LCD、AMOLED等玻璃材质显示屏幕进行薄化，在薄化过程中，大量的反应生成物堆积在产品表面和酸液中，使产品表面形成点状、不规则状凸起的蚀刻不均匀，同时，大量的反应生成物溶解在酸液中，造成酸液浪费。现技术需求有：1）在玻璃与氢氟酸反应时，快速有效的溶解或去除反应生成物；2）废弃酸液回收利用。关键技术技术有：1）反应过程中固体生成物的快速溶解；2）可溶性生成物（氟硅酸盐等）的快速沉降；3）附着在产品、设备、管道等上面的反应生产物快速去除。成果匹配

TFT-LCD、AMOLED等玻璃材质蚀刻过程中表面质量改善及废弃液回收利用

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